Poly(ethylene terephthalate) crystallization as a method for microlithography
- 作者M. F. Sonnenschein; A. M. Kotliar; C. M. Roland
- 卷第30卷
- 期第18期
- 印刷ISSN0032-3888
- 电子ISSN1548-2634
- 文件大小634.56KB
- 发表时间1990
- DOI10.1002/pen.760301809
- 页码1165-1170
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