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Magnetic Properties of Fe-Si-N Films Sputtered in (Ar+N2) Plasma

Magnetic Properties of Fe-Si-N Films Sputtered in (Ar+N2) Plasma

Takahashi, M.; Komaba, H.; Shoji, H.; Shimatsu, T.; Wakiyama, T.

作者Takahashi, M.; Komaba, H.; Shoji, H.; Shimatsu, T.; Wakiyama, T.
卷第6卷
期第1期
文件大小792.52KB
发表时间1991
DOI10.1109/tjmj.1991.4565110
页码78-84

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