Stoichiometry and impurities in sputtered alumina films on copper
P. Vuoristo; T. Mäntylä; P. Kettunen; R. Lappalainen
- 作者P. Vuoristo; T. Mäntylä; P. Kettunen; R. Lappalainen
- 卷第204卷
- 期第2期
- 印刷ISSN0040-6090
- 文件大小1029.16KB
- 发表时间1991
- DOI10.1016/0040-6090(91)90071-5
- 页码297-311