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An overview of x-ray lithography for use in semiconductor device preparation

An overview of x-ray lithography for use in semiconductor device preparation

U.S. Tandon; B.D. Pant; Ashok Kumar
  • 作者U.S. Tandon; B.D. Pant; Ashok Kumar
  • 卷第42卷
  • 期第18期
  • 印刷ISSN0042-207X
  • 文件大小1952.48KB
  • 发表时间1991
  • DOI10.1016/0042-207x(91)90134-5
  • 页码1219-1228
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