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Submicrometer photolithography by surface imaging - experiment and simulation

L. Bauch; U. Jagdhold; J. Bauer; B. Dietrich; W. Höppner; H. Erzgräber; H. Dreger; G. Heller; K. Richter; E. Roll; G. Mehliβ; W. Abraham

作者L. Bauch; U. Jagdhold; J. Bauer; B. Dietrich; W. Höppner; H. Erzgräber; H. Dreger; G. Heller; K. Richter; E. Roll; G. Mehliβ; W. Abraham
卷第13卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小583.63KB
发表时间1991
DOI10.1016/0167-9317(91)90054-h
页码89-92