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A study of the picostructure of sputtered ZrN films

A study of the picostructure of sputtered ZrN films

A.J. Perry; J.P. Schaffer; J. Brunner; W.D. Sproul

作者A.J. Perry; J.P. Schaffer; J. Brunner; W.D. Sproul
卷第49卷
印刷ISSN0257-8972
文件大小627.69KB
发表时间1991
DOI10.1016/0257-8972(91)90053-y
页码188-193

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