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Optoelectronic properties of hydrogenated amorphous silicon films deposited under negative substrate bias

Roca i Cabarrocas, P.; Morin, P.; Chu, V.; Conde, J. P.; Liu, J. Z.; Park, H. R.; Wagner, S.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Roca i Cabarrocas, P.; Morin, P.; Chu, V.; Conde, J. P.; Liu, J. Z.; Park, H. R.; Wagner, S.
卷第69卷
期第5期
印刷ISSN0021-8979
文件大小1242.53KB
发表时间1991
DOI10.1063/1.348605