Wet etch process for patterning insulators suitable for epitaxial high Tc superconducting thin film multilevel electronic circuits

• 期刊名称Applied Physics Letters
• 作者Eidelloth, W.; Gallagher, W. J.; Robertazzi, R. P.; Koch, R. H.; Oh, B.; Sandstrom, R. L.
• 卷第59卷
• 期第10期
• 印刷ISSN0003-6951
• 文件大小716.74KB
• 发表时间1991
• DOI10.1063/1.105469