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Chemical vapor deposition of boron nitride using premixed borontrichloride and ammonia

Chemical vapor deposition of boron nitride using premixed borontrichloride and ammonia

Pavlović, Vladimir; Kötter, Horst-Rainer; Meixner, Christoph

期刊名称Journal of Materials Research
作者Pavlović, Vladimir; Kötter, Horst-Rainer; Meixner, Christoph
卷第6卷
期第11期
印刷ISSN0884-2914
电子ISSN2044-5326
文件大小369.79KB
发表时间1991-11
DOI10.1557/JMR.1991.2393
页码2393-2396

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