Piezoelectric Thin Film Ultrasonic Micromotors
Udayakumar, K. R.; Chen, J.; Brooks, K. G.; Cross, L. E.; Flynn, A. M.; Ehrlich, D. J.
- 期刊名称MRS Proceedings
- 作者Udayakumar, K. R.; Chen, J.; Brooks, K. G.; Cross, L. E.; Flynn, A. M.; Ehrlich, D. J.
- 卷第243卷
- 电子ISSN1946-4274
- 文件大小1204.80KB
- 发表时间1991-1
- DOI10.1557/proc-243-49