Hydrothermal degradation of r.f. sputter-cleaned chromium-polyimide interfaces
T. S. Oh; D. G. Kim; S. P. Kowalczyk; S. Molis; J. Kim
- 作者T. S. Oh; D. G. Kim; S. P. Kowalczyk; S. Molis; J. Kim
- 卷第10卷
- 期第7期
- 印刷ISSN0261-8028
- 电子ISSN1573-4811
- 文件大小231.36KB
- 发表时间1991-04-1
- DOI10.1007/bf00728036
- 页码374-376