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Formation of titanium and cobalt germanides on Si (100) using rapid thermal processing

Formation of titanium and cobalt germanides on Si (100) using rapid thermal processing

S. P. Ashburn; M. C. Öztürk; J. J. Wortman; G. Harris; J. Honeycutt; D. M. Maher

作者S. P. Ashburn; M. C. Öztürk; J. J. Wortman; G. Harris; J. Honeycutt; D. M. Maher
卷第21卷
期第1期
印刷ISSN0361-5235
电子ISSN1543-186X
文件大小699.03KB
发表时间1992-01
DOI10.1007/bf02670924
页码81-86

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