Integration of vertical/quasivertical DMOS, CMOS and bipolar transistors in a 50 V SIMOX process

• 作者J. Weyers; H. Vogt; M. Berger; W. Mach; B. Mütterlein; M. Raab; F. Richter; F. Vogt
• 卷第19卷
• 印刷ISSN0167-9317
• 文件大小151.75KB
• 发表时间1992
• DOI10.1016/0167-9317(92)90533-w
• 页码733-735