Thin film reaction and interface structure of Cu on Si
J. Echigoya; H. Enoki; T. Satoh; T. Waki; T. Ohmi; M. Otsuki; T. Shibata
- 作者J. Echigoya; H. Enoki; T. Satoh; T. Waki; T. Ohmi; M. Otsuki; T. Shibata
- 印刷ISSN0169-4332
- 文件大小2223.69KB
- 发表时间1992
- DOI10.1016/0169-4332(92)90272-y
- 页码463-468