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Morphology and phase stability of TiSi2 on Si

Morphology and phase stability of TiSi2 on Si

H. Jeon; C. A. Sukow; J. W. Honeycutt; G. A. Rozgonyi; R. J. Nemanich

作者H. Jeon; C. A. Sukow; J. W. Honeycutt; G. A. Rozgonyi; R. J. Nemanich
文件大小1573.39KB
发表时间1992
DOI10.1063/1.350808

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