Performance of Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors with Double Layer Gate Dielectric
Kung, Ji-Ho; Hatalis, Miltiadis K.; Kanicki, Jerzy
- 期刊名称MRS Proceedings
- 作者Kung, Ji-Ho; Hatalis, Miltiadis K.; Kanicki, Jerzy
- 卷第284卷
- 电子ISSN1946-4274
- 文件大小311.36KB
- 发表时间1992-1
- DOI10.1557/proc-284-431