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Characterization of selective reactive ion etching effects on delta-doped GaAs/AlGaAs MODFET layers

S. Agarwala; M. Tong; D. G. Ballegeer; K. Nummila; A. A. Ketterson; I. Adesida

作者S. Agarwala; M. Tong; D. G. Ballegeer; K. Nummila; A. A. Ketterson; I. Adesida
卷第22卷
期第4期
印刷ISSN0361-5235
电子ISSN1543-186X
文件大小618.42KB
发表时间1993-04
DOI10.1007/bf02661665
页码375-381