Cleaning technology for improved gate oxide integrity

M. Meuris; S. Verhaverbeke; P.W. Mertens; H.F. Schmidt; M.M. Heyns; M. Kubota; A. Philipossian; K. Dillenbeck; D. Gräf; A. Schnegg; R. de Blank

作者M. Meuris; S. Verhaverbeke; P.W. Mertens; H.F. Schmidt; M.M. Heyns; M. Kubota; A. Philipossian; K. Dillenbeck; D. Gräf; A. Schnegg; R. de Blank
卷第22卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小655.37KB
发表时间1993
DOI10.1016/0167-9317(93)90123-m
页码21-28

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