Monte Carlo simulation of chevron baffle performance
Ross, A. W.; Fink, M.; Wellenstein, H. F.
- 期刊名称Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
- 作者Ross, A. W.; Fink, M.; Wellenstein, H. F.
- 卷第11卷
- 期第3期
- 印刷ISSN0734-2101
- 电子ISSN1520-8559
- 文件大小397.87KB
- 发表时间1993-05
- DOI10.1116/1.578798
- 页码723-725