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Texture in cobalt films deposited obliquely by sputtering

Texture in cobalt films deposited obliquely by sputtering

K. Itoh; K. Hara; M. Kamiya; K. Okamoto; T. Hashimoto; H. Fujiwara

作者K. Itoh; K. Hara; M. Kamiya; K. Okamoto; T. Hashimoto; H. Fujiwara
卷第134卷
期第1期
印刷ISSN0304-8853
文件大小808.41KB
发表时间1994
DOI10.1016/0304-8853(94)90093-0
页码199-207

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