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Pulsed laser deposition of BN onto silicon (100) substrates at 600 °C

T.A. Friedmann; K.F. McCarty; E.J. Klaus; J.C. Barbour; W.M. Clift; H.A. Johnsen; D.L. Medlin; M.J. Mills; D.K. Ottesen

作者T.A. Friedmann; K.F. McCarty; E.J. Klaus; J.C. Barbour; W.M. Clift; H.A. Johnsen; D.L. Medlin; M.J. Mills; D.K. Ottesen
卷第237卷
印刷ISSN0040-6090
文件大小1237.84KB
发表时间1994
DOI10.1016/0040-6090(94)90237-2
页码48-56