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Macroparticle-free TiN films prepared by arc ion-plating process

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G.H. Kang; H. Uchida; E.S. Koh

作者G.H. Kang; H. Uchida; E.S. Koh
印刷ISSN0257-8972
文件大小510.75KB
发表时间1994
DOI10.1016/0257-8972(94)90151-1
页码141-145

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