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Terrace growth and polytype development in epitaxial β-SiC films on α-SiC (6H and 15R) substrates

Terrace growth and polytype development in epitaxial β-SiC films on α-SiC (6H and 15R) substrates

Chien, F. R.; Nutt, S. R.; Yoo, W. S.; Kimoto, T.; Matsunami, H.

期刊名称Journal of Materials Research
作者Chien, F. R.; Nutt, S. R.; Yoo, W. S.; Kimoto, T.; Matsunami, H.
卷第9卷
期第4期
印刷ISSN0884-2914
电子ISSN2044-5326
文件大小13821.09KB
发表时间1994-4
DOI10.1557/jmr.1994.0940
页码940-954

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