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Effect of Ion Doping Temperature on Electrical Properties of APCVD A-Si

Lee, Kyung Ha; Moon, Byeong Yeon; Chung, Yoo Chan; Lee, Seung Min; Kim, Sung Chul; Kim, Donggil; Jang, Jin

期刊名称MRS Proceedings
作者Lee, Kyung Ha; Moon, Byeong Yeon; Chung, Yoo Chan; Lee, Seung Min; Kim, Sung Chul; Kim, Donggil; Jang, Jin
卷第336卷
电子ISSN1946-4274
文件大小802.82KB
发表时间1994-1
DOI10.1557/proc-336-469