Fluorine-Induced corrosion of aluminium microchip bond pads: An XPS and AES analysis

• 作者K.-H. Ernst; D. Grman; R. Hauert; E. Holländer
• 卷第21卷
• 期第10期
• 印刷ISSN0142-2421
• 电子ISSN1096-9918
• 文件大小537.78KB
• 发表时间1994
• DOI10.1002/sia.740211003
• 页码691-696