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A new type of columnar grain structure in obliquely deposited films

A new type of columnar grain structure in obliquely deposited films

K. Hara; K. Itoh; M. Kamiya; K. Okamoto; T. Hashimoto; H. Fujiwara

作者K. Hara; K. Itoh; M. Kamiya; K. Okamoto; T. Hashimoto; H. Fujiwara
卷第148卷
印刷ISSN0304-8853
文件大小202.22KB
发表时间1995
DOI10.1016/0304-8853(95)00131-x
页码19-20

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