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Al and B ion‐implantations in 6H‐ and 3C‐SiC

Rao, Mulpuri V.; Griffiths, Peter; Holland, O. W.; Kelner, G.; Freitas, J. A.; Simons, David S.; Chi, P. H.; Ghezzo, M.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Rao, Mulpuri V.; Griffiths, Peter; Holland, O. W.; Kelner, G.; Freitas, J. A.; Simons, David S.; Chi, P. H.; Ghezzo, M.
卷第77卷
期第6期
文件大小1149.41KB
发表时间1995
DOI10.1063/1.358776