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Strain compensation in ternary Si1 − x − yGexBy films

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B. Tillack; P. Zaumseil; G. Morgenstern; D. Krüger; B. Dietrich; G. Ritter

作者B. Tillack; P. Zaumseil; G. Morgenstern; D. Krüger; B. Dietrich; G. Ritter
卷第157卷
印刷ISSN0022-0248
文件大小256.21KB
发表时间1995
DOI10.1016/0022-0248(95)00405-x
页码181-184

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