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Failure in Tungsten-Filled Via Structures

Failure in Tungsten-Filled Via Structures

Clement, J. J.; Lloyd, J. R.; Thompson, C. V.

期刊名称MRS Proceedings
作者Clement, J. J.; Lloyd, J. R.; Thompson, C. V.
卷第391卷
电子ISSN1946-4274
文件大小1184.91KB
发表时间1995-1
DOI10.1557/proc-391-423

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