Advanced Interactive Personal Computer-Based Process Control Systems for Oxide MOCVD Systems.

• 期刊名称MRS Proceedings
• 作者Tompa, G.S.; Shen, D.; Zhang, C.; Murzin, I.H.
• 卷第415卷
• 电子ISSN1946-4274
• 文件大小1150.32KB
• 发表时间1995-1
• DOI10.1557/proc-415-167