2 MeV Si ion implantation damage in relaxed Si1−xGex

C. O'Raifeartaigh; R.C. Barklie; A. Nylandsted Larsen; F. Priolo; G. Franzó; G. Lulli; M. Bianconi; J.K.N. Lindner; F. Cristiano; P.L.F. Hemment

作者C. O'Raifeartaigh; R.C. Barklie; A. Nylandsted Larsen; F. Priolo; G. Franzó; G. Lulli; M. Bianconi; J.K.N. Lindner; F. Cristiano; P.L.F. Hemment
卷第120卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小386.11KB
发表时间1996
DOI10.1016/s0168-583x(96)00501-0
页码165-168

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