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Polysilicon integrated microsystems: technologies and applications

Polysilicon integrated microsystems: technologies and applications

Roger T. Howe; Bernhard E. Boser; Albert P. Pisano

作者Roger T. Howe; Bernhard E. Boser; Albert P. Pisano
卷第56卷
印刷ISSN0924-4247
文件大小1173.48KB
发表时间1996
DOI10.1016/0924-4247(96)01291-5
页码167-177

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