Micromachined thick permanent magnet arrays on silicon wafers
Liakopoulos, T.M.; Wenjin Zhang, ; Ahn, C.H.
- 期刊名称IEEE Transactions on Magnetics
- 作者Liakopoulos, T.M.; Wenjin Zhang, ; Ahn, C.H.
- 卷第32卷
- 期第5期
- 印刷ISSN0018-9464
- 文件大小464.54KB
- 发表时间1996
- DOI10.1109/20.539521
- 页码5154-5156