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The plasma for material processing

The plasma for material processing

T. Hirata; R. Hatakeyama; T. Mieno; S. Iizuka; N. Sato

作者T. Hirata; R. Hatakeyama; T. Mieno; S. Iizuka; N. Sato
文件大小220.28KB
发表时间1996
DOI10.1088/0963-0252/5/2/025

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