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Observation of Film Growth Phenomena Using Micromachined Structures

DiMeo, F.; Cavicchi, R. E.; Sernancik, S.; Suchle, J. S.; Tea, N. H.; Kelliher, J. T.

期刊名称MRS Proceedings
作者DiMeo, F.; Cavicchi, R. E.; Sernancik, S.; Suchle, J. S.; Tea, N. H.; Kelliher, J. T.
卷第441卷
电子ISSN1946-4274
文件大小3706.70KB
发表时间1996-1
DOI10.1557/proc-441-69