Polymeric aluminasilazane precursors for aluminosilicon nitride

• 作者D. Seyferth; G. Brodt; B. Boury
• 卷第15卷
• 期第4期
• 印刷ISSN0261-8028
• 电子ISSN1573-4811
• 文件大小239.27KB
• 发表时间1996-02-15
• DOI10.1007/bf00591659
• 页码348-349