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X-ray imaging during plasma-source ion implantation

M. Piper; J. L. Shohet; J. H. Booske; K. H. Chew; L. Zhang; P. Sandstrom; J. Jacobs

作者M. Piper; J. L. Shohet; J. H. Booske; K. H. Chew; L. Zhang; P. Sandstrom; J. Jacobs
卷第16卷
期第1期
印刷ISSN0272-4324
电子ISSN1572-8986
文件大小528.66KB
发表时间1996-03
DOI10.1007/bf01465221
页码141-152