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Dielectric barriers for Cu metallization systems

Dielectric barriers for Cu metallization systems

M. Vogt; M. Kachel; M. Plötner; K. Drescher

作者M. Vogt; M. Kachel; M. Plötner; K. Drescher
印刷ISSN0167-9317
文件大小374.83KB
发表时间1997
DOI10.1016/s0167-9317(97)00110-x
页码181-187

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