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Model for noncollisional heating in inductively coupled plasma processing sources

Model for noncollisional heating in inductively coupled plasma processing sources

Rauf, Shahid; Kushner, Mark J.
  • 期刊名称Journal of Applied Physics
  • 作者Rauf, Shahid; Kushner, Mark J.
  • 卷第81卷
  • 期第9期
  • 印刷ISSN0021-8979
  • 文件大小535.33KB
  • 发表时间1997
  • DOI10.1063/1.364385
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