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Using soft lithography to fabricate GaAs/AlGaAs heterostructure field effect transistors

Hu, Junmin; Beck, R. G.; Deng, Tao; Westervelt, R. M.; Maranowski, K. D.; Gossard, A. C.; Whitesides, George M.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Hu, Junmin; Beck, R. G.; Deng, Tao; Westervelt, R. M.; Maranowski, K. D.; Gossard, A. C.; Whitesides, George M.
卷第71卷
期第14期
印刷ISSN0003-6951
文件大小394.94KB
发表时间1997
DOI10.1063/1.119774