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X-ray microfabrication of multi-level structures and 3-D patterning

X-ray microfabrication of multi-level structures and 3-D patterning

K.J. Morris; Y. Vladimirsky; O. Vladimirsky; G. Calderon

作者K.J. Morris; Y. Vladimirsky; O. Vladimirsky; G. Calderon
卷第35卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小340.87KB
发表时间1997
DOI10.1016/s0167-9317(96)00153-0
页码545-548

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