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Si Surface Preparation with Si Beam Irradiation on the Growth of III-V on Si

Si Surface Preparation with Si Beam Irradiation on the Growth of III-V on Si

Kawanami, H.; Baskar, K.; Sakata, I.; Sekigawa, T.

期刊名称MRS Proceedings
作者Kawanami, H.; Baskar, K.; Sakata, I.; Sekigawa, T.
卷第485卷
电子ISSN1946-4274
文件大小892.47KB
发表时间1997-1
DOI10.1557/proc-485-61

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