FIB/HVEM observation of the configuration of cracks and the defect structure near the cracks in Si
- 期刊名称Journal of Electron Microscopy
- 作者Saka, H.; Abe, S.
- 卷第46卷
- 期第1期
- 印刷ISSN0022-0744
- 电子ISSN1477-9986
- 文件大小12010.26KB
- 发表时间1997-01-01
- DOI10.1093/oxfordjournals.jmicro.a023489
- 页码45-47
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