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High concentration diffusivity and clustering of arsenic and phosphorus in silicon

High concentration diffusivity and clustering of arsenic and phosphorus in silicon

Solmi, S.; Nobili, D.

作者Solmi, S.; Nobili, D.
卷第83卷
期第5期
印刷ISSN0021-8979
文件大小365.01KB
发表时间1998
DOI10.1063/1.367008

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