Microanalysis of masklessly fabricated microstructures using nuclear microprobe

Y.K. Park; M. Takai; T. Nagai; T. Kishimoto; A. Seidl; C. Lehrer; L. Frey; H. Ryssel

作者Y.K. Park; M. Takai; T. Nagai; T. Kishimoto; A. Seidl; C. Lehrer; L. Frey; H. Ryssel
印刷ISSN0168-583X
文件大小454.31KB
发表时间1998
DOI10.1016/s0168-583x(97)00709-x
页码373-378

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