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Annealing behavior of tin implanted silica

Y.-S. Tung; A. Ueda; R. Mu; M. Wu; J. Chen; Z. Gu; D.O. Henderson; W.E. Collins; C.W. White; R. Zhur

作者Y.-S. Tung; A. Ueda; R. Mu; M. Wu; J. Chen; Z. Gu; D.O. Henderson; W.E. Collins; C.W. White; R. Zhur
卷第141卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小249.13KB
发表时间1998
DOI10.1016/s0168-583x(98)00137-2
页码279-283