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The effect of subsurface doping on gate oxide charging damage

The effect of subsurface doping on gate oxide charging damage

Linder, B.P.; En, W.G.; Cheung, N.W.

作者Linder, B.P.; En, W.G.; Cheung, N.W.
卷第26卷
期第6期
印刷ISSN0093-3813
电子ISSN1939-9375
文件大小210.16KB
发表时间1998
DOI10.1109/27.747880
页码1628-1634

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