Modeling electrodeposition for LIGA microdevice fabrication
S. K. Griffiths; R. H. Nilson; A. Ting; R. W. Bradshaw; W. D. Bonivert; J. M. Hruby
- 作者S. K. Griffiths; R. H. Nilson; A. Ting; R. W. Bradshaw; W. D. Bonivert; J. M. Hruby
- 卷第4卷
- 期第2期
- 印刷ISSN0946-7076
- 电子ISSN1432-1858
- 文件大小268.99KB
- 发表时间1998-02
- DOI10.1007/s005420050105
- 页码98-101