Reduction of elastic strains in directly-bonded silicon structures
T. S. Argunova; R. F. Vitman; I. V. Grekhov; L. S. Kostina; T. V. Kudryavtseva; M. Yu. Gutkin; A. V. Shturbin; J. Härtwig; M. Ohler; E. D. Kim; S. Ch. Kim
作者T. S. Argunova; R. F. Vitman; I. V. Grekhov; L. S. Kostina; T. V. Kudryavtseva; M. Yu. Gutkin; A. V. Shturbin; J. Härtwig; M. Ohler; E. D. Kim; S. Ch. Kim