Metalorganic chemical vapor deposition of aluminum from tetramethylethylenediamine alane

• 作者Dae-Hwan Kim; Man-Young Park; Shi-Woo Rhee
• 卷第10卷
• 期第4期
• 印刷ISSN0957-4522
• 电子ISSN1573-482X
• 文件大小191.08KB
• 发表时间1999-06
• DOI10.1023/a:1008920701316
• 页码285-290